Technik

Vakuumsystem Beschichtungsanlage

• Präzise und konstante Gasflüsse
• Symmetrischer Kesselaufbau, Schichtverteilung, Schichtfarbe und Eigenschaft gleichmäßig von oben nach unten
• Sehr präzise und schnelle Druckregelung
• Regelung erfolgt nicht mehr über den Glasfluss sondern über das Ventilsystem
• Wartungsfreundliche kleine Ventile
• Alle Komponenten sind optimal zugänglich
• mehrstufige wartungsfreie Schraubenpumpe
• magnetgelagerte Turbo Pumpe

Kammer Beschichtungsanlage

• Schnell wechselbare Innverkleidung für Grundreinigungszeiten < 2 Std. Keine Werkzeuge notwendig
• Keine unnötigen Fühler die entfernt werden müssen
• Schnell wechselbares Heizsystem mit Stecker und einer Mutter
• Optimiertes Heizungsreinigungsprogramm

Kühlsystem Beschichtungsanlage

• Optimale gekühlte Verdampfungsquellen
• Unabhängig regelbare Kühlkreisläufe; energiesparende Kühlung angestimmt je Prozessschritt
• Robuster doppelwandiger Edelstahl Kessel mit gleichmäßiger Temperaturverteilung, um mit minimaler Kühlleistung auszukommen

ARC Kathode Beschichtungsanlage

• gepulste Gleichstromversorgung mit einem Wirkungsgrad 92 - 94%
• Optimiertes Magnetsystem zur Steuerung des Lichtbogens
• Angepasstes Quellendesign zur Verringerung großer Droplets
• Flexibles Target-Wechsel-System
• Variables und effizientes Ätzverfahren über verschieden Verfahren
• Gleichmäßige Schichtverteilung über den gesamten Beschichtungsbereich Abweichungen < 0,1µm

Elektrik

• 80 KW / 125 A Anschluss 3 Phasen + Neutral
• 4 Kathoden 250A inkl. 4 x 6KW Gleichrichter gepulst
• 15 KW Bias gepulst bis 1000V
• 4 Heizungen je 8 KW inkl. integrierter Temperaturüberwachung
• Regelbarer Direktantrieb für das Karussell mit Drehmomentüberwachung
• Notstromversorgung für Steuerstromkreis und Turbopumpe zur kontrollierten Abschaltung
• Analysetool für alle Elektrischen Komponenten
• Beckhoff Steuerung und Feldbus für alle Komponenten
• 24 Zoll Touch Panel PC inkl. Fernwartung
• Lückenlose Prozess Dokumentation

Medien

• Kühlwasseranschluss mit ca. 80 L/min mit variabler Temperatur Einspeisung zwischen 15 - 23 °C
• Der Kühlwasserkreislauf wird in der Anlage aufgeteilt und je nach Bedarf abhängig vom Prozessschritt geregelt
• Druckluft 6bar Steuerluft und Spülgas für die Trockenpumpe
• Puffertank für Druckluft mit 40 Liter für Notabschaltung ist integriert
• Kühlgasanschluss für schnell Kühlung wahlweise He oder N2
• 4 Prozessgas Flowcontroller (Ar; H2; N2; C2H2) optional bis 6 ausbaubar für DLC Prozesse

Vakuum und Kammer

• 250 m² wartungsfreie Schrauben Trockenpume < 55 db(A)
• 250 mm Turbomolekularpumpe magnetgelagert wartungsfrei
• Pumpzeiten < 5 min
• Wartungsfreundliche VAT Vakuumventile
• Doppelwandiger voll gekühlter Edelstahl Kessel
• Wartungsfreie, Ferrofluid Drehdurchführungen
• MKS Vakuum Messinstrumente (Profi Bus Baratron, Pirani; Penning; Piezo; Flow Controller
• Automatischer Lecktest

Equipment Beschichtungshalterungen und Karusselle

• Flexibles und wartungsfreies Halterung-System
• Doppelt geführte Hülsen - keine Berührung der Werkzeuge untereinander
• Keine Belastung und Abnutzung der Drehlager
• Flexibel tauschbare Hülsen innerhalb bestimmter Durchmesserbereiche
• Zuverlässige Drehung

Katalog auf Anfrage