Download-Portfolio
Schichtübersichten
Plasma plus Schichtportfolio (Deusche Version) (1.15 MB)Plasma plus Schichtportfolio Standard und High-End Serie (English Version) (1.15 MB)
Datenblätter
Prozess Spezifikation HE B (177.70 KB)Prozess Spezifikation HE B plus (167.90 KB)
Prozess Spezifikation TiN (189.58 KB)
Prozess Spezifikation HE S Dünn (164.57 KB)
Prozess Spezifikation HE S (167.30 KB)
Prozess Spezifikation HE S6B (190.69 KB)
Prozess Spezifikation HE S6F (190.71 KB)
Prozess Spezifikation HE A (165.20 KB)
Prozess Spezifikation HE A Zr (192.63 KB)
Prozess Spezifikation HE X (147.66 KB)
Prozess Spezifikation HE F3 (184.65 KB)
Prozess Spezifikation HE A plus (180.96 KB)
Prozess Spezifikation HE Z (190.74 KB)