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Plasma Plus setzt auf moderne und innovative Technik
Beschichtungstechologie Plasma plus
Flexibles Kathoden System , mit bis zu vier unterschiedlichen Target Materialien
Erprobtes Schichtportfolio (AlTiN; AlTiSiN; AlCrTiN; TiN; TiCN; TiCCrN; ZrN; ZrCrN; TiAlN)
Volumen 750 - 1000 Schaftwerkzeuge pro Charge
Beschichtungslänge 850 mm, 8 Spindel mit Drm. 125 mm
Chargenlaufzeiten (AlTiN) ca. 5 Std.
Kompakter Aufbau, alle Komponenten sind in einem Gehäuse staubfrei und wassergekühlt untergebracht H:2100; B:1800; L:2400 mm
Frei zugänglicher Rezepteditor
Durchdachte Arbeitssicherheit, UL konformer Aufbau
Vakuumsystem Beschichtungsanlage
Präzise und konstante Gasflüsse
Symmetrischer Kesselaufbau, Schichtverteilung, Schichtfarbe und Eigenschaft gleichmäßig von oben nach unten
Sehr präzise und schnelle Druckregelung
Regelung erfolgt nicht mehr über den Glasfluss sondern über das Ventilsystem
Wartungsfreundliche kleine Ventile
Alle Komponenten sind optimal zugänglich
mehrstufige wartungsfreie Schraubenpumpe
magnetgelagerte Turbo Pumpe
Kammer Beschichtungsanlage
Schnell wechselbare Innverkleidung für Grundreinigungszeiten < 2 Std. Keine Werkzeuge notwendig
Keine unnötigen Fühler die entfernt werden müssen
Schnell wechselbares Heizsystem mit Stecker und einer Mutter
Optimiertes Heizungsreinigungsprogramm
Kühlsystem Beschichtungsanlage
Optimale gekühlte Verdampfungsquellen
Unabhängig regelbare Kühlkreisläufe; energiesparende Kühlung angestimmt je Prozessschritt
Robuster doppelwandiger Edelstahl Kessel mit gleichmäßiger Temperaturverteilung, um mit minimaler Kühlleistung auszukommen
ARC Kathode Beschichtungsanlage
gepulste Gleichstromversorgung mit einem Wirkungsgrad 92 - 94%
Optimiertes Magnetsystem zur Steuerung des Lichtbogens
Angepasstes Quellendesign zur Verringerung großer Droplets
Flexibles Target-Wechsel-System
Variables und effizientes Ätzverfahren über verschieden Verfahren
Gleichmäßige Schichtverteilung über den gesamten Beschichtungsbereich Abweichungen < 0,1µm
Elektrik
80 KW / 125 A Anschluss 3 Phasen + Neutral
4 Kathoden 250A inkl. 4 x 6KW Gleichrichter gepulst
15 KW Bias gepulst bis 1000V
4 Heizungen je 8 KW inkl. integrierter Temperaturüberwachung
Regelbarer Direktantrieb für das Karussell mit Drehmomentüberwachung
Notstromversorgung für Steuerstromkreis und Turbopumpe zur kontrollierten Abschaltung
Analysetool für alle Elektrischen Komponenten
Beckhoff Steuerung und Feldbus für alle Komponenten
24 Zoll Touch Panel PC inkl. Fernwartung
Lückenlose Prozess Dokumentation
Medien
Kühlwasseranschluss mit ca. 80 L/min mit variabler Temperatur Einspeisung zwischen 15 - 23 °C
Der Kühlwasserkreislauf wird in der Anlage aufgeteilt und je nach Bedarf abhängig vom Prozessschritt geregelt
Druckluft 6bar Steuerluft und Spülgas für die Trockenpumpe
Puffertank für Druckluft mit 40 Liter für Notabschaltung ist integriert
Kühlgasanschluss für schnell Kühlung wahlweise He oder N2
4 Prozessgas Flowcontroller (Ar; H2; N2; C2H2) optional bis 6 ausbaubar für DLC Prozesse
Vakuum und Kammer
250 m² wartungsfreie Schrauben Trockenpume < 55 db(A)
250 mm Turbomolekularpumpe magnetgelagert wartungsfrei
Pumpzeiten < 5 min
Wartungsfreundliche VAT Vakuumventile
Doppelwandiger voll gekühlter Edelstahl Kessel
Wartungsfreie, Ferrofluid Drehdurchführungen
MKS Vakuum Messinstrumente (Profi Bus Baratron, Pirani; Penning; Piezo; Flow Controller
Automatischer Lecktest
Equipment Beschichtungshalterungen und Karusselle
Flexibles und wartungsfreies Halterung-System
Doppelt geführte Hülsen - keine Berührung der Werkzeuge untereinander
Keine Belastung und Abnutzung der Drehlager
Flexibel tauschbare Hülsen innerhalb bestimmter Durchmesserbereiche
Zuverlässige Drehung
Katalog auf Anfrage
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